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博客專欄

EEPW首頁 > 博客 > 首套EUV光刻機安裝完成,英特爾將在愛爾蘭Fab 34量產Intel 4制程

首套EUV光刻機安裝完成,英特爾將在愛爾蘭Fab 34量產Intel 4制程

發布人:芯智訊 時間:2023-09-29 來源:工程師 發布文章

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9月29日消息,英特爾近日宣布,其位于愛爾蘭的Fab 34晶圓廠已經完成了EUV(極紫外光)光刻設備的安裝測試工作,目前已經正常開機,即將開始正式量產Intel 4制程技術。

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英特爾表示,將于當地時間9月29日在現場舉行活動,慶祝Intel 4制程技術的量產,公司高層人員也會參與,包括執行長Pat Gelsinger、技術開發總經理Ann Kelleher和營運長Keyvan Esfarjani等。屆時英特爾將介紹如何通過EUV技術達成生產和產品交貨的過程,引領其先進的產品生產,進一步提供人工智能(AI)處理器到個人電腦,再到大型數據中心所使用的各類處理器。

據了解,2022年4月,英特爾Fab 34晶圓廠完成了第一套EUV微影曝光設備的安裝,這是歐洲首座具備EUV光刻技術的晶圓廠。過程中,大約有100多名ASML工程師到了Fab 34晶圓廠協助安裝,同時英特爾從美國派來了工程師,負責培訓Fab 34晶圓廠的員工如何使用EUV微影曝光設備機。之前,英特爾向ASML訂購了多套EUV光刻設備,這其中的第一套就是安裝在Fab 34晶圓廠。

另外,為在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠是于2019年開始動工,在2023年正式投產。英特爾曾表示,愛爾蘭晶圓廠是其全球晶圓廠擴建計劃的一部分,其是為了滿足全球半導體迅速成長的需求,同時也為英特爾的Intel 4制程技術量產鋪路。目前,英特爾計劃以Fab 34晶圓廠的intel 4制程技術來生產Meteor Lake和Granite Rapids等處理器。

編輯:芯智訊-林子


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關鍵詞: 光刻機

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